Tipos de bomba de vacío
1) Bombas de desplazamiento positivo
1) Funcionan por movimientos mecánicos
2) Usualmente para “roughing”
2) Bombas de transferencia de impulso
1) Funcionan “paleteando” a las moléculas
2) Usualmente de 10-3 a 10-8 Torr
3) Bombas de captura
1) Funcionan “almacenando” las moléculas del recipiente
2) No tienen salida
3) Saturan y deben ser regeneradas
Bomba de vacío mecánica (desplazamiento positivo)
Patentada por Charles C. Barnes el 16 de junio de 1874
Bomba Roots (desplazamiento positivo)
Patentada en 1860 por Philander y Francis Marion Roots
Bomba de diafragma (desplazamiento positivo)
Screw and Scroll pumps (desplazamiento positivo)
Bomba difusora (transferencia de impulso)
Introducida por Wolfgang Gaede en 1915
Molecular Drag pump (transferencia de impulso)
Gaede 1913
Bomba Turbomolecular (transferencia de impulso)
Gaede 1913
Bomba de adsorción (captura)
Vacío de 10-3 a 10-5 Torr
Bomba de adsorción criogénica (captura)
Funciona en base a Criogenerador con T = 20 K
Sputter-ion pump Bomba de ionización (captura)
Penning discharge
B = 1-2 kOe
E = 3-5 kV
Plasma de e- estable si P< 10-5 Torr
Sputter-ion pump Bomba de ionización (captura)
Bomba de sublimación de Ti (captura)
Uniones
O-ring
Uniones
O-ring
Uniones
QF – KF – Quick Flange
Uniones
O-rings Grasa de vacío
Uniones
Conflat
Consejos para técnicas de vacío
La grasa de vacío NO puede tapar agujeros
No limpiar los O-ring con solventes
NO NO NO sacar un O-ring con un destornillador
Para alto vacío no tocar los elementos. Usar guantes
Agua es lo peor. No limpiar con agua. Alcohol es lo ultimo
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